超音波アシスト水熱合成法によるニオブ酸カリウムナトリウム厚膜の作製

抄録

近年、環境負荷に関する関心が高まっており、圧電アクチュエーターや圧力センサに用いられる圧電体膜においても環境負荷の大きい鉛を含まない非鉛化が進められている。本研究では非鉛圧電材料のなかでも比較的高い圧電性と強誘電性が期待されるニオブ酸カリウムナトリウムに着目した。合成手法として水熱合成中に超音波アシストを行うことで反応促進を促し、反応時間の短縮とその成膜条件の最適化を行った。