超音波アシスト水熱合成法を用いたニオブ酸カリウム厚膜に関する研究

抄録

我々のグループでは、化学反応を促進させるソノケミカル反応を用いることを考案し、水熱合成中に強力超音波を反応溶液中に照射する、超音波アシスト水熱合成法を開発した。超音波アシストを行うことで従来よりも密で厚いPZT膜が得られることが確認されている。本研究では医療用超音波圧電素子への応用を目指し、100μm以上の非鉛圧電体ニオブ酸カリウム厚膜の超音波アシスト水熱合成法による成膜を目的とした。