弾性伝送路を用いた共振駆動型SIDMに関する研究

抄録

近年精密機器の小型化に伴い、多様な超音波モーターが開発されている。そのひとつとして有害環境下や内視鏡手術で駆動するため、弾性伝送路を用いて振動を伝播させ、先端でスライダーを駆動するものが考案されている。本研究ではこのようなSIDMアクチュエーターを共振周波数で駆動し、印加電圧や発熱特性を向上させることを考案した。現在までに、振動子と伝送路を設計し、動特性を測定した。