セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ 第10報　S-DLC膜を用いた形状制御の評価

中谷 公祐; 高崎 正也; 寳田 敦之; 吉田 祐未; 大竹 尚登; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_851

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: K33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_851

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主催: 公益社団法人精密工学会

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

第10報　S-DLC膜を用いた形状制御の評価

*中谷公祐, 高崎正也, 寳田敦之, 吉田祐未, 大竹尚登, 水野毅

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キーワード: 超音波, 弾性表面波, セグメント構造, ダイヤモンド状炭素膜, 形状制御

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抄録

弾性表面波リニアモータは原理上，摩擦駆動面に摩耗の問題が存在する．これまでに，摩擦駆動面にセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜（S-DLC）を導入することが提案されているが，セグメント構造の突起断面形状の影響で，従来のモータと同様の推力特性を得られていない．断面形状の最適化を図るために前報においてSR-DLC/C膜の導入を提案した．本報では，SR-DLC/C膜を用いた突起断面形状の制御と，その結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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