極低温用ボルト締めランジュバン型振動子の等価回路を用いた性能評価

抄録

極低温環境下での超音波モータの駆動において、温度の低下によりモータの性能が低下することが課題である。本研究では、極低温用超音波モータの駆動源となるボルト締めランジュバン型振動子について、圧電振動子の等価回路を用いて評価を行った。振動子を構成する金属材料および圧電材料について比較を行った。また振動子の性能の温度依存性について評価を行った。