レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発

第2報：パワー密度が転写性に与える影響

抄録

本研究は、レーザ表面加熱を用いたロール熱ナノインプリント技術の開発を目的とする。ロール熱ナノインプリントで高い転写性を得るには、金型と樹脂の接触中に加熱、充填、冷却のプロセスを行う必要がある。金型全体を加熱する従来の方法に対し、本方式では局所的に加熱できるため、熱伝達により金型と樹脂の接触中に冷却が行われると考えられる。レーザパワー密度と転写率の関係から、パワー密度が転写性に与える影響を考察する。