2次元ディジタルフィルタを用いた面領域ウェーブレット変換の開発

尾嶌 裕隆; 鈴木 泰樹; 周 立波; 清水 淳; 小貫 哲平

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_975

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: M14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_975

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主催: 公益社団法人精密工学会

2次元ディジタルフィルタを用いた面領域ウェーブレット変換の開発

*尾嶌裕隆, 鈴木泰樹, 周立波, 清水淳, 小貫哲平

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キーワード: ウェーブレット変換, デジタルフィルター, 面領域ウェーブレット

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抄録

現在の画像処理技術では2次元の対象に対して1次元のフィルタを水平方向と垂直方向へ処理することで2次元のフィルタ処理を可能としている．しかし処理対象が2次元であるならば用いるフィルタも2次元であることが合理的であり計算コストの削減になると考え，本研究では既存の1次元フィルタを用いた2次元フィルタの設計と処理手法の開発を行った．さらにウエハの2次元データに対し提案する面領域ウェーブレット変換を用いた形状解析を行った．

責任著者(Corresponding author)

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