蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究

（第一報）水平面における切削液の油膜の基礎検討

抄録

機械加工の高精度化のために，工具刃先の形状を機上計測する技術が近年求められている．しかし，工具使用時に表面に付着する切削液が測定を妨害するため，機上計測の実現を困難にしている．そこで本研究は，工具表面に付着した切削液から蛍光を取得することによる，工具形状の計測手法を提案する．本報では，水平面から取得される蛍光信号の形状と油膜表面と測定表面の位置の関係性について基礎的な検討を行ったため報告する．