ナノ形状測定法におけるマルチステップ自律校正法による光路長の推定

抄録

自由曲面、非球面形状を測定精度1 nm 以上で測定可能な測定法は、次世代高精度光学素子の製造に必要不可欠である。そこで我々は、光の直進性とゴニオメータの高精度回転を利用したナノ形状測定装置を開発した。本測定法において、測定点と光検出器との距離である光路長は、測定精度に大きく影響を及ぼすが、直接的に測定することは難しい。そこで本稿では、マルチステップ自律校正法を用いて光路長を推定した結果を報告する。