冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第1報） メニスカス力の基板変形への影響

多田 一生; 吉冨 健一郎; 餅田 正秋; 宇根 篤暢

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_489

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: H66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_489

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主催: 公益社団法人精密工学会

冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第1報）

メニスカス力の基板変形への影響

*多田一生, 吉冨健一郎, 餅田正秋, 宇根篤暢

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キーワード: 冷凍ピンチャック, 無変形保持, 高平坦化研磨, 大反り石英ウエハ

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抄録

薄型基板の高平坦化においては，基板の持つ反りの除去が問題となっている．本研究は，凝固した冷凍液によって反りを残した状態で石英基板を保持する冷凍ピンチャックを用い，研磨により反りを除去して無反り基板を創成することを目的としている．本報では，メニスカス力による基板変形への影響を明らかにするとともに，基板取り外し後の復元形状を考慮した研磨シミュレーションについて検討した．

責任著者(Corresponding author)

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