カーボンナノチューブ複合めっきによるダイヤモンド電着ワイヤーの砥粒保持力の改善

抄録

高硬度脆性材料の切断に用いられるダイヤモンド電着ワイヤーは，砥粒埋込率が低いため，砥粒が容易に脱落し，加工能率および加工面品質を悪化させている。そこで本研究では，カーボンナノチューブ複合めっきを用いた高い砥粒保持力を有するダイヤモンド電着ワイヤーを設計し，試作した。さらに，試作した電着ワイヤーを用いた結晶系シリコンに対する加工試験を行い，その工具寿命を評価した。