紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化

オゾンガスの導入効果

抄録

近年，ダイヤモンドは，次世代パワー半導体デバイス用基板や切削工具，超硬合金金型の代替型などの幅広い分野での応用が期待されている．しかしながら，ダイヤモンドは高硬度で，化学的に不活性なため，加工が困難であり，高能率・高精度加工技術の開発が求められている．われわれは，無機酸化物プレートとダイヤモンド間の化学的相互作用を効果的に実現するために，紫外光照射を援用した研磨法を新たに提案している．本報告では，オゾンガスの導入効果について報告する．