走査型ディスプレイ用MEMSマイクロミラーの性能限界に関する考察（キーノートスピーチ）

抄録

MEMS走査マイクロミラーはモバイルディスプレイなどへの応用が期待されている。高い解像度を得るために大きな走査角と速い走査が必要である。走査マイクロミラーの共振時における性能を解析モデルにより理論的に評価した。性能はミラーのダンピング機構に大いに影響を受け、材料であるシリコンの破壊限界に制限されることが示された。これらの結果は設計方針を決める場合および信頼性を高める設計の基本を見出すために有効である。