スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（第2報）

浮上と制振相互間の加振位相ずれと制振性能の関係

抄録

本研究ではスクイーズ効果で非接触支持された浮上体において浮上体上面に対しても加振による静圧力で制振する手法を提案している．ところで，加振用ピエゾの応答や空気圧縮性による時間遅れが浮上・制振相互で異なる場合，双方の位相ずれのため制振能力が劣ると考えられる．そこで，相互に位相差を設けて加振した場合の制振性能を観察し，あわせてピエゾ駆動用信号に対する加振パッドおよび浮上体振動の遅れ成分との関連を調べた．