音波噴霧におけるランジュバン型振動子の変位量と粒径の関係に関する検討

荒川 亮; 櫻田 陽; 森 英季; 江藤 真人; 長縄 明大; 渋谷 嗣; 大日方 五郎

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_905

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: P17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_905

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主催: 公益社団法人精密工学会

音波噴霧におけるランジュバン型振動子の変位量と粒径の関係に関する検討

*荒川亮, 櫻田陽, 森英季, 江藤真人, 長縄明大, 渋谷嗣, 大日方五郎

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キーワード: 超音波噴霧, アクチュエータ, 圧電素子, ランジュバン型振動子, 液滴微細化, 成膜

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抄録

霧化による塗布成膜は，液体の微粒化手法で大別してエアゾールや超音波，静電力による方法などがある．このうち超音波による液体霧化は，その粒径が共振周波数に依存することが広く知られている．本報告では，共振周波数と振幅が霧化粒径に与える影響について，高速度カメラを用いて霧化現象を観察し，ランジュバン型振動子で表面波を用いた霧化原理と粒径の微細化について考察した．

責任著者(Corresponding author)

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