超音波アシスト水熱合成法によるPZT厚膜振動子の振動特性評価

抄録

水熱合成法で得られるPZT膜は、アクチュエータとして応用する場合、出力の増大や電気的短絡を防ぐという点から、厚膜化が求められる。また、水熱合成法は超音波照射により、チタン基板上にPZT多結晶を従来に比べて厚く成膜できる。本研究では、超音波アシスト水熱合成法で複数回成膜をする場合での、さらなる厚膜化が可能な成膜条件を求めた。また、本手法を用いてPZT厚膜振動子を製作し、限界振動速度等の基本特性を評価した。