有限要素法による中空管マイクロポンプ高効率化を目的とした溝付加型PZTアクチュエータの動的評価

鈴木 宏昌; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_909

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: P20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_909

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主催: 公益社団法人精密工学会

有限要素法による中空管マイクロポンプ高効率化を目的とした溝付加型PZTアクチュエータの動的評価

*鈴木宏昌, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 有限要素法, 圧電アクチュエータ, 中空管マイクロポンプ

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抄録

我々は，中空管上にリング型PZTを等間隔に配置することでポンプ部と流路部が一体化した中空管マイクロポンプの開発を行っているが，中空管内を通る液体輸送量が微量であるため，流量増加が必要である．既報よりリング型PZTの外周面に溝を付加する事で性能向上の確認がされたが，溝の最適化が確定されていない．そこで溝条件の一つである溝割合に着目した結果，最良溝割合60[%]であるためFEM解析による溝の最適化の探索を行う．

責任著者(Corresponding author)

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