主催: 公益社団法人精密工学会
首都大東京 大学院 理工学研究科
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直径が16mmのマイクロタービン翼と,その回転(タービン出力)を外部に取り出すためのマイクロ歯車を,超極細ワイヤを用いて一体で成形した.本報では,マイクロタービン翼とマイクロ歯車の構造および製作法,また,実験によるマイクロタービンの特性について報告する.
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