硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発

後藤 拓実; 中森 紘基; 松山 智至; 木村 隆志; Khakurel Krishna; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 石川 哲也; 西野 吉則; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_1047

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: R31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_1047

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主催: 公益社団法人精密工学会

硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発

*後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, Khakurel Krishna, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 西野吉則, 山内和人

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キーワード: X線集光光学素子, 形状可変ミラー, 圧電アクチュエータ

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抄録

第三世代放射光施設の稼動により，高輝度・高可干渉性を有するX線が利用可能となった．この優れたX線を活用する技術が集光技術であり，高感度分析には必要不可欠なものとなっている．現在，我々は集光光学素子として形状可変ミラーを用いて，従来にはない光学パラメータ可変機構を持つ集光光学系の開発を行っている．本発表では，4枚の形状可変ミラーを用いて二段集光光学系を構築し，集光実験を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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