熱アシストプラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質と表面硬化

フッ素樹脂と金属膜の強力接合への応用

抄録

ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）は、切削加工により作製されるため、表面には脆弱層が存在する。よって、単にPTFEの表面を改質しても脆弱層から剥離が起こり、密着性は改善されない。そこで、本研究では、PTFEの表面を加熱しながら大気圧プラズマを照射し、単に表面改質するだけでなく、表面で架橋反応を進行させて表面を硬化し、脆弱層を修復する。PTFE上に作製した金属膜が脆弱層から剥離することを低減し、強力接合を実現する。