スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第５報） 離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証

横関 宏樹; 久米 大将; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_113

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_113

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主催: 公益社団法人精密工学会

スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第５報）

離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証

*横関宏樹, 久米大将, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 欠陥検査, 超解像光学, 構造化照明, スポット照明

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抄録

高解像度の光学式半導体欠陥検査技術の開発にあたって，我々はスポット照明を空間的にナノスケールで重複してシフトさせ，散乱光変調情報を含む複数画像を取得し，計算機による後処理を加えることで，レイリー限界を超える解像を行う方法を研究している．前報では原理検証のための基礎実験装置を構築した．本報では，離散的サンプルを用いて提案手法を実験的に検証したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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