光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第５報） 定在場スケール内挿によるスキャニング測定

上田 真一; 道畑 正岐; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_121

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_121

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主催: 公益社団法人精密工学会

光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第５報）

定在場スケール内挿によるスキャニング測定

*上田真一, 道畑正岐, 高谷裕浩

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キーワード: 光放射圧プローブ, 定在場スケール, 白色光共焦点, 内挿

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抄録

我々は光放射圧プローブを用いた定在場スケールによる三次元形状のスキャニング測定を提案している．定在場スケールのスケールピッチはレーザの半波長(532nm)と大きく，スケール内挿が必要である．定在場スケールの内挿はプローブ挙動のモデル化と，プローブ位置の高分解能計測により実現される．本報では，白色光共焦点によるプローブ位置計測と力学モデルにより，スケールの内挿及びスキャニング測定について検証した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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