光ファイバを用いた3Dタッチプローブに関する研究（第6報） 光ファイバ変位計による球測定シミュレーションと実験

北野 公崇; 大岩 孝彰; 寺林 賢司; 朝間 淳一

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_123

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_123

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主催: 公益社団法人精密工学会

光ファイバを用いた3Dタッチプローブに関する研究（第6報）

光ファイバ変位計による球測定シミュレーションと実験

*北野公崇, 大岩孝彰, 寺林賢司, 朝間淳一

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キーワード: タッチトリガープローブ, 光ファイバ, 変位センサ, 球面鏡

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抄録

　本研究では，3組の光ファイバ変位計を用いて，スタイラス先端球の変位と方向を検出する3Dタッチプローブを提案している．前報から，変位計先端と先端球の間隔を増すことでXYZ方向の感度が等方化することが実験的に明らかになった．本報では，1本の変位計で球表面を測定する際の軸方向と半径方向の変位特性をシミュレーションと実験により検証する．

責任著者(Corresponding author)

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