WGM共振を利用した微小球の直径計測（第3報） 電磁界モードの特定

川嵜 彬史; 道畑 正岐; 足立 篤; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_125

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_125

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第3報）

電磁界モードの特定

*川嵜彬史, 道畑正岐, 足立篤, 高谷裕浩

著者情報

キーワード: WGM共振, マイクロ球, 直径計測, テーパファイバ, 電磁界モード, 偏光

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

直径1mm以下の微小球を対象とした直径計測手法として，Whispering Gallery Mode (WGM)共振を利用する．本手法で直径を正確に算出するためには，球表面を伝搬している光の電磁界モードと伝搬モードを特定する必要がある．そこで本報では，入射光の偏光方向を操作することによるWGM共振の変化を基に電磁界モードの特定を行った．その結果，直径67μm程度のガラス球に対して2nm以下の精度で直径を特定することができた．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）