参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定（第3報） 実用化に向けた製品開発およびその有用性評価

星野 結人; 外川 一仁; 柳 和久; 佐藤 康夫

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_177

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_177

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定（第3報）

実用化に向けた製品開発およびその有用性評価

*星野結人, 外川一仁, 柳和久, 佐藤康夫

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キーワード: 高精度測定, 真直度輪郭, 二点法, 平坦面, ソフトウェアデータム

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抄録

本研究は，平坦面の真直度輪郭を高精度に測定できる新たな二点法の開発を目的としている．本測定法は，ソフトウェアデータムを利用して実体基準および被測定面の輪郭を同時に測定し，既知となった実体基準との比較測定およびスティッチングによって測定範囲を拡大するものである．本報では実験により得た測定精度および測定時間から，本測定法の有用性を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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