レーザー干渉計を搭載した画像測定機による二次元グリッドマスク校正

抄録

画像測定機の校正を行う際の標準器となる二次元グリッドプレートを、高精度に校正する装置を開発した。画像測定機にレーザー干渉計を搭載することにより、長さ測定を高精度化するとともに、測定するグリッドプレートを90度づつ回転させた4姿勢での測定結果を平均することにより画像測定機自体の幾何誤差を低減するマルチステップ測定法を行うことにより、二次元グリッドプレートの高精度な校正を可能にした。