レーザ回折投影法によるタッチパネル透明電極のパターン解析

増田 健二; 寺尾 健; 臼杵 深; 三浦 憲二郎

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_185

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_185

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ回折投影法によるタッチパネル透明電極のパターン解析

*増田健二, 寺尾健, 臼杵深, 三浦憲二郎

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キーワード: タッチパネル, 透明電極, レーザ回折投影法, フランホーファー回折, 表面波散乱

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抄録

スマートフォンなどのタッチパネルに用いられている透明電極を迅速に計測できる技術が求められている．従来の顕微鏡を用いる方法では観察視野が狭いため，パネル全面を解析するには長時間の計測が必要とされる．ここでは，レーザ光を広げてパネル全面に照射させ，回折した光をスクリーンに投影することによって，一枚の画像でパターン解析をする方法を提案する．

責任著者(Corresponding author)

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