ヨウ素吸収線を用いた周波数安定化機構を有する正弦波周波数変調法を用いた変位測定干渉計の開発

前田 能孝; Vu Thanh Tung; 明田川 正人

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_187

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: C68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_187

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主催: 公益社団法人精密工学会

ヨウ素吸収線を用いた周波数安定化機構を有する正弦波周波数変調法を用いた変位測定干渉計の開発

*前田能孝, Vu Thanh Tung, 明田川正人

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キーワード: ホモダイン干渉計, 半導体レーザ, 周波数安定化, 周波数変調

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抄録

近年，半導体レーザは軽量・省コストなど理由から変位測定干渉計の光源として用いられている．高精度な変位測定に用いるためには周波数の長期安定性を改善する必要がある．本論文では，正弦波周波数変調法を用いた補間を行うホモダイン干渉計にヨウ素吸収線を用いた周波数安定化機構を組み合わせる．安定化と正弦波周波数変調法による変位測定はどちらも周波数変調により実現できるため，これらの連携は効果的である．

責任著者(Corresponding author)

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