バーチャル表面粗さ計を用いた表面粗さ測定における不確かさの見積り

触針の弾性接触と相互作用に関する研究

抄録

表面粗さ計測で得られる粗さパラメータの不確かさを見積もるために，仮想的な表面粗さ測定機を用いた．仮想測定機において弾性接触を考慮するように改良するとともに，現実に近い仮想的な表面粗さプロファイルを対象とすることで，より実際の値に近い不確かさを得ることができた．また仮想的な測定機であるため，不確かさ要因を変化させて仮想的な測定を行うことで，要因間の相互作用の影響を調査することができた．