精密工学会学術講演会講演論文集
2015年度精密工学会春季大会
セッションID: A64
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パッシブ型THz近接場顕微鏡による誘電体表面波の観測
*横山 貴文林 冠廷金 鮮美梶原 優介
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抄録
我々が開発したパッシブ型s-SNOM (scattering-type Scanning Near-field Optical Microscope) は,外部照射を必要とせず,空間分解能20 nmにてTHzエバネッセント波 (波長15 μm程度) を検出可能である.本研究では,検出波長近傍に光学フォノン共鳴を持つ誘電体 (AlN, GaNなど) に着目し,それらの表面に発現するTHzエバネッセント波の観測を行った.その結果,それぞれ非常に特徴的な検出信号を得た.本報では,検出信号の大きさや高さ依存性について実験結果を示し,理論解析・考察を報告する.
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© 2015 公益社団法人 精密工学会
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