光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究（第8報）

放射圧動的制御による高安定トラップ

抄録

本研究では，ソフトマテリアルを対象とした10nm以下の分解能での除去加工を可能にする非摩耗・回折限界非依存型光励起ナノ除去加工工具を提案している．本提案手法では，光触媒ナノ粒子を加工工具とし，その工具位置の制御をレーザートラップにより行う．そのため，加工位置の制御には高安定な工具位置制御が要求される．本報では、スポット位置走査ユニットを実装し，放射圧動的制御による高安定トラップを実験的に検証する．