支持部品の超精密加工による分割型中性子集光ミラーの組立起因形状誤差の修正

抄録

筆者らは、大面積の中性子集光ミラーを低コストかつ短期間で製作する手法を確立するため、複数の金属ミラーセグメントを組み立てて一枚のミラーを構成する方法の開発を進めている。この方法では、各セグメントの形状精度のみならず、組立時のアライメント誤差や締結力による変形も考慮する必要がある。本稿では、ミラーを支持するスペーサの高さを超精密加工により調整することによってこれらの誤差を軽減する方法について述べる。