光ファイバを利用した接触検知センサの開発

熊谷 航; 荒川 雄郎; 大井 隆介; 土井 康平; 松浦 寛; 斎藤 修

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_299

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: E35

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_299

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主催: 公益社団法人精密工学会

光ファイバを利用した接触検知センサの開発

*熊谷航, 荒川雄郎, 大井隆介, 土井康平, 松浦寛, 斎藤修

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キーワード: 光ファイバ, 接触検知, ダイヤモンド砥石

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抄録

　非球面レンズなどの成形金型の仕上げで行われる超精密研削は，切込み量が微小なため加工開始点を正確に決定することが難しい．そこで我々は，光ファイバの弾性変形とガウシアンビーム光学系を利用して砥粒と工作物の衝突時に生じる振動を光出力の変動に変換する接触検知センサを開発した．40 nm/stepで切り込み，最初に接触を検知した点の深さを測定したところワーク表面から138 nmであった．

責任著者(Corresponding author)

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