FIB 加工Si ナノワイヤの機械信頼性に及ぼす高真空アニール効果

藤井 達也; 小杉 幸次郎; 米谷 玲皇; 内藤 宗幸; 井上 尚三; 生津 資大

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_319

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: E63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_319

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主催: 公益社団法人精密工学会

FIB 加工Si ナノワイヤの機械信頼性に及ぼす高真空アニール効果

*藤井達也, 小杉幸次郎, 米谷玲皇, 内藤宗幸, 井上尚三, 生津資大

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キーワード: 材料試験, ナノ電気機械システム, 信頼性, シリコン, アニール

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抄録

本研究では，NEMSを構成するナノスケール構造体の機械特性定量評価を目的として，SEM内で引張試験を実施する技術を開発した．FIB加工と高真空アニールにより作製したSiナノワイヤの引張試験を行い，FIBダメージとアニールが機械物性に及ぼす影響を評価した．また，アニール前後の試験片のTEM観察を行い，アニールによるダメージ層の再結晶化やGaナノクラスターの形成から排出に至るまでのメカニズムを考察した．

責任著者(Corresponding author)

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