静電誘導給電を用いた並列放電によるSiCインゴットのくり抜き放電加工に関する研究

抄録

SiC単結晶材料は非常に高価である。SiC材料利用率の最大化のために、放電加工を利用してSiCインゴットのくり抜き装置を開発した。また、加工率を向上するために、静電誘導給電法を用いてマルチスパーク放電加工方法を開発した。６本の電極を用いて、一つのパルスで、６個の同時放電または順番放電の確認をできた。従って、放電頻度の向上により加工速度が増加すると考えられる。