ハイブリッド共振型SIDMアクチュエータの試作

抄録

圧電応用アクチュエータの一種にSmooth Impact Driving Mechanism(SIDM)があり、機械的共振を利用することで入力電圧の低電圧化を可能とした共振型SIDM(RSIDM)も開発されている。しかし、RSIDMはアクチュエータの機械共振のみを利用するために厳しい加工精度が要求される。本研究では、電気及び機械的共振を利用することで、電気的外部素子による制御で低駆動電圧できるハイブリッド共振型SIDMを提案する。