圧電振動子の電気・機械駆動における非線形高次モードに関する研究

抄録

圧電体は単位体積の出力が大きいという特徴を持っており強力超音波デバイスとして様々な面で応用されている。圧電体は高負荷条件での駆動が想定されるが、高負荷条件での圧電振動では非線形成分の影響が顕著になることでＱ値の減少や圧電定数等の物理定数の変化といった問題が確認されている。この問題について先行研究を踏まえ、2次高調波の測定により非線形圧電特性の理解を深めるため、温度上昇による影響を排除する計測システムを構築した。