新方式の大出力ピエゾアクチュエータの研究 －第１報－

抄録

本研究では大出力可能な圧電アクチュエータの開発を目指している。座屈式と呼ぶ新方式の変位拡大機構を用いて、エネルギ結合係数0.7程度を得ながら、出力変位を50倍以上に拡大可能なユニットを用いる。５ｍｍ程度の拡大変位を利用して、複数ユニットによりラックを連続駆動可能なアクチュエータを考案した。動作特性解析により、正弦波電圧入力を用いることで推力制御が可能な事を明らかにした。