測長原子間力顕微鏡を用いたナノ寸法校正技術の開発（キーノートスピーチ）

抄録

近年，超精密技術の進展に伴い，表面ナノ構造の寸法を精密に計測したいという要望が高まってきている．講演者らはこれまで，高分解能レーザ干渉計を搭載した原子間力顕微鏡（測長AFM）を開発し，この測長AFMを用いた周期構造の間隔（ピッチ）や微小段差の校正技術を開発してきた．本講演では，標準粒子の粒径校正技術やプロファイル表面粗さ校正技術を中心に，測長AFMを用いたナノ校正技術の最近の研究成果を紹介する．