精密工学会学術講演会講演論文集
2015年度精密工学会春季大会
セッションID: K09
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タッピングモードを用いた高速原子間力顕微鏡によるナノ微粒子のマニピュレーション法の開発
*城子 正道石崎 逸八岩田 太
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抄録
我々はナノスケールでの表面微細加工やマニピュレーションを行うとこを目的に高速原子間力顕微鏡を利用したナノマニピュレータを開発している。本装置によりリアルタイムで観察しながらマニピュレーションを行うことが可能である。本報告では,ナノ微粒子を基板上の任意の位置へ効率的に移動させるマニピュレーションの手法についてタッピングモードでの印加荷重の変調や振動を用いた操作法について報告する。
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© 2015 公益社団法人 精密工学会
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