大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発 SiCのPCDマイクロミーリングにおけるプラズマ援用クーラントの効果

片平 和俊; 武末 翔吾; 渡邉 健志; 大森 整; 小茂鳥 潤

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_715

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: L02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_715

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主催: 公益社団法人精密工学会

大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発

SiCのPCDマイクロミーリングにおけるプラズマ援用クーラントの効果

*片平和俊, 武末翔吾, 渡邉健志, 大森整, 小茂鳥潤

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キーワード: 多結晶ダイヤモンド, マイクロミーリング, 大気圧プラズマ援用クーラント

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抄録

大気圧低温プラズマジェットを援用することで，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能を最大限に引き出すことを目的としている．SiCに対するPCDミーリング加工時におけるプラズマ援用クーラントの効果について報告する．プラズマ援用クーラントにより，平均表面粗さで1 nm以下という高品位な表面が得られること，さらに，加工距離が延びても得られる面粗さは安定することを確認している．

責任著者(Corresponding author)

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