レーザ援用マイクロ切削におけるデバリング効果の検証

抄録

超精密切削により微細構造金型を作製し，それにより光学素子を成型する手法は生産性の高さから以前より注目されている．しかし金型材を切削する際の問題として，サブマイクロからマイクロメートルオーダでの欠陥の発生が挙げられる．そこで著者らは欠陥抑制手法としてレーザ援用マイクロ切削を開発し，その効果を立証してきた．本報では，解析と実験双方により当加工法におけるデバリング効果検証を行ったので報告する．