単結晶フッ化カルシウムの超精密切削によるタンパク質分析マイクロ流路の製作

抄録

タンパク質結晶構造の赤外分光分析のため，単結晶フッ化カルシウムのマイクロ流路が必要とされている．本研究では，単結晶フッ化カルシウムに単結晶ダイヤモンド工具でのフライカット加工を施し，延性-脆性遷移の臨界切取り厚さと切削方向，アップ・ダウンカット，工具すくい角との関係を調査した．また，延性モード切削が可能な加工条件下で流路を試作した結果，深さ10μm，表面粗さ2.4 nmRaの流路製作に成功した．