亜鉛めっきによるコア径コア径φ30μm以下のピーリング工具の作製

抄録

我々は，微細電極の周囲を融点が低く，除去加工が容易な材料で被覆した「ピーリング工具」を提案し，被覆方法として，亜鉛めっきを試みている．めっきの際、いくつかのpH緩衝剤や平滑剤を添加して工具を作製したところ，デキストリンを用いることで工具精度が最も良くなることが分かった．本研究では，デキストリンを添加し，コア径φ30μm以下のピーリング工具の作製と単発放電による被覆部の除去を行った．