Wafer Level Casting法向けレンズアレイウェハ用精密成形装置の開発

廣瀬 智博; 石山 祐太; 薮谷 誠; 森本 喜隆

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_871

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: N40

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_871

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主催: 公益社団法人精密工学会

Wafer Level Casting法向けレンズアレイウェハ用精密成形装置の開発

*廣瀬智博, 石山祐太, 薮谷誠, 森本喜隆

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キーワード: レンズアレイウェハ, ウェハレベルキャスティング, 成型, インプリント

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抄録

Wafer level casting法は光学レンズの新しい製造方法として注目されている．今回，熱硬化樹脂を用いてWLC法向けのレンズアレイウェハを成形するための成形装置の試作を行なった．本研究では，成形装置の性能評価としてレンズアレイウェハの成形試験を行ない，形状再現性およびレンズの偏芯の推移について評価を行なったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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