セリア研磨スラリーの分散・凝集状態の制御と定量評価についての検討

抄録

ガラス系材料の研磨に多用されるセリア砥粒の分散・凝集状態を制御することによって、研磨能率並びに砥粒使用効率の向上が可能である。これら向上効果の最大化のために、特に原液または原液に近い状態のゼータ電位、粒度分布など定性的および定量的評価方法の可能性を検討した。