金属短繊維含有ラップ工具を用いたサファイア基板の研磨特性

抄録

現在、サファイアなどの硬質材料のラッピング工具として用いられている鋳鉄定盤は、加工性能や耐食性の低さやが問題となっている。特にサファイアにおいては研磨能率が大幅に減少することが知られている。我々のグループでは、金属短繊維を含有したラッピング工具を新たに開発し片面研磨に用いたところサファイアに対しても優れた研磨能率と仕上げ面粗さが得られたので、この結果について報告する。