アクリルブロックを用いた超小型レーザードップラー速度計の作動距離変更手法

抄録

レーザドップラ速度計(LDV)は大型かつ高価であり、従来の光学系を個別にアライメントする方法では小型化、価格に限界がある。本研究ではその構造と構成をMEMS製造技術に最適化することで集積性と量産性に優れた超小型LDVを開発し、また光学部品一点のみを追加することでセンサ表面から測定点までの距離の変更手法を考案した。