研磨パッドの表面アスペリティモデルに基づく動的材料特性の分析

抄録

研磨パッド表面に存在する凹凸構造は研磨効率に直接的に影響するため，その分析は研磨メカニズムを理解する上で重要である．本研究では，研磨パッドの表面アスペリティを楕円球と楕円錐の集合体としてモデル化し，状測定結果から研磨に作用すると考えられる箇所の形状パラメータを同定する手法を考案した．さらに，弾性変形を仮定した力学モデルを定式化し，動的圧縮試験の結果から，材料物性パラメータについて分析を行った．