酸化剤を用いたSiC鏡面研削に関する研究

抄録

本研究ではメカノケミカル反応を利用した鏡面創成用砥石の開発を目標としている。本報では機械的に難加工性であるSiC単結晶を加工対象とし、砥粒に酸化剤を用いたメカノケミカル砥石を試作し、加工実験を試みた。発表ではC面の研削実験として表面性状測定結果および加工現象の分析結果について報告する。